صنعت نیمه هادی به تمیزی، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری بسیار بالایی از مواد سازنده نیاز دارد و اجزای ساختاری سرامیکی کاملاً این الزامات را برآورده می کنند و آنها را به یکی از اجزای کلیدی تجهیزات نیمه هادی تبدیل می کنند.
در طول تولید ویفر، محیط داخلی تجهیزات اغلب در معرض دماهای بالا، خلاء بالا و خوردگی قوی قرار می گیرد. مواد فلزی سنتی به راحتی خورده میشوند یا ناخالصیها را آزاد میکنند، در حالی که اجزای ساختاری سرامیکی دارای پایداری شیمیایی عالی و ویژگیهای ریزش ذرات کم هستند که به طور موثر محیط تولید تمیز را تضمین میکند.
قطعات سرامیکی نیمه هادی متداول عبارتند از چاک های سرامیکی، بخاری های سرامیکی، حلقه های عایق، نازل ها و اجزای راهنما. در این میان، چاک های الکترواستاتیک از خواص عایق عالی مواد سرامیکی برای تثبیت ویفرها استفاده می کنند و یکی از اجزای اصلی تجهیزات نیمه هادی هستند.
همانطور که فرآیندهای تولید تراشه به سطوح بالاتر ادامه میدهند، الزامات دقت برای تجهیزات به طور فزایندهای سختتر میشوند. مواد سرامیکی پیشرفته با پایداری ابعادی و مقاومت در برابر خوردگی پلاسما، نقش مهم تری در صنعت نیمه هادی آینده خواهند داشت.